二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury MP #9384397 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Mercury MP轉盤是一種光刻設備，能夠在可控半徑內安裝和處理半導體晶片。它使用脈寬調制技術來實現對晶圓半徑的精確控制。這個過程包括安裝一個轉軸到電機和控制它調整晶圓的半徑。Mercury MP的FSI PVDF轉盤支持TEL轉盤的全系列FSI控制單元,用於熱和Mercury MP光阻工藝。Mercury MP的EH-030TTEL PVDF轉盤具有多項功能,旨在促進系統的精確和安全的精確運行。它包括一個偏心安裝的晶片安裝/卸載平臺,可確保晶片居中。它還具有ERPM電動機和主軸,允許在精確控制的圓中高速旋轉晶圓,以實現均勻性和準確性。馬達是無刷的，完全由保護殼封閉，以防止任何灰塵和殘留物收集。Mercury MP的EH-030TPVDF轉盤還具有過電壓保護（OVP）、防止過熱的高功率級以及用於精確控制的集成溫度。它被校準為準確性，包括一個基於軟件校準的監視器/打印機端口。晶片居中特性確保晶片的精確居中，PVDF塗層防止晶片表面磨損。EH-030TTOKYO ELECTRON PVDF Mercury MP轉盤的工藝操作快速高效。由於主軸和所有活動部件都被封閉在保護殼中，因此它本身是安全的。脈寬調制可確保抗蝕劑均勻地暴露於單元發出的汞光。這樣可以確保在晶片上應用一致且質量良好的抗蝕層。最後，FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Mercury MP轉盤是一種光刻機，為半徑可控的半導體晶片的安裝和加工提供了高效、安全的工藝。它包括一個用於精確的安裝/卸載平臺、一個用於防塵的封閉式電機、用於精確的溫度控制以及用於使抗蝕劑在汞光照下保持一致性的脈寬調制技術。對於那些在半導體晶片上尋找高質量抗蝕層的人來說，這是一個可靠的工具。