二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury #9354313 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON PVDF Turntable for Mercury是為OEM集成商和一級用戶設計的自動化、自成一體的光刻設備。它是一種經濟高效的解決方案,可提供自動旋轉塗層和烘烤功能,輸出速率高達每小時75個晶圓。該系統包括一個11.8英寸的旋轉軌道轉盤，該轉盤具有12度的傾斜度，可使光刻膠在晶圓上均勻分散。PVDF轉盤旋轉驅動速度高達3000 rpm,頂板加速度為500 rpm/sec2。可調表的流體入口溫度範圍在25°c至65°c之間，背面加熱溫度可達100°c。這種PVDF轉盤是為多種光刻膠設計的，包括正負抗蝕劑、高溫光刻膠、後塗層處理，以及其他相關的工藝材料。大容量設計允許最大吞吐量和最短的設置時間。集成的PLC和觸摸屏操作員界面可輕松、精確地控制液體輸送裝置。該機器經過UL認證,能夠安全運行,並符合最高耐用性標準。轉盤有一個串聯診斷工具，用於監測關鍵功能，包括真空、板溫度、抵抗均勻性和基板壓力。一個獨特的軟件包自動化了從劑量控制到晶片加載的整個抗蝕塗層周期。還包括高級數據日誌記錄和配方管理功能,通過單擊即可實現精確的流程合規性。為防止化學物質積聚，PVDF轉盤配備了一個單一用途、自清潔噴嘴和排水資產，促進了清潔抗蝕劑的使用。該模型還設計了一個有效的噴霧器設計和集成滅火器，以盡量減少附帶廢物。FSI PVDF Mercury轉盤是滿足各種光刻膠加工需求的理想解決方案。憑借其強大的設計、集成的安全特性以及自動化、高效的操作，是光刻膠用戶的絕佳選擇。