二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn MP #9233648 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn MP是一種用途廣泛的光刻設備，用於半導體制造和先進的光刻工藝。它設計用於廣泛的任務，如半導體加工、微電子器件制造、納米技術、先進的光刻技術和其他表面安裝區域。該系統為晶圓的制造提供了一個全面的解決方案，包括圖樣、對準、蝕刻、計量和沈積。其最先進的特點使其能夠滿足當今半導體行業的嚴格要求。FSI土星MP單元由三個核心組件組成：主控制器、一組工藝模塊和一個機械臂，用於從機器裝卸晶片。控制器負責控制所有的過程和與外部機械的接口，包括掩模對準器、步進電機、抗蝕輥、旋轉塗層、大氣監視器和一系列其他附件。工藝模塊提供所有必要的電源、加熱和冷卻功能，以支持光刻工藝。機械臂負責裝卸晶片，可根據晶片尺寸範圍進行調整。TEL Saturn MP提供了多種高級功能,以最大限度地提高效率並最小化停機時間。它包括一個用於快速模式調整的多模板用戶界面，以及文檔管理和統計報告。它還提供單擊晶片處理,以快速訪問晶片啟動參數,以及用於遠程編輯和管理光刻配方的綜合配方管理工具。該資產還提供可選的離線跟蹤功能,用於監控和記錄各種晶圓步驟以確保質量。TOKYO ELECTRON Saturn MP兼容多種抗蝕劑化學，包括聚合物、連續色調和光致抗蝕劑。它擁有業界領先的全系列消耗品和備件產品線,並擁有專職的技術人員來提供客戶解決方案和支持。這樣可以確保模型能夠跟上要求最苛刻的應用程序要求,同時確保安全性和頂級性能。