二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn MP #9233649 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn MP是一種全自動的高分辨率光敏設備，旨在方便制造超微敏感設備如MEMS（微電子機械系統）和生物醫學設備。該系統具有先進的低劑量均勻性曝光控制功能,適用於處理尺寸不超過4英寸、特征尺寸為100 μ m的基板。FSI Saturn MP配備了一個數字多邊形掃描儀，該掃描儀能夠在一個通道內達到5 μ m的分辨率。該掃描儀能夠以單目標和多目標模式進行掃描，為用戶提供微調處理的靈活性。此外，該機還具有一個特殊的校準表，以保證在使用工具兼容的各種叠加軟件時的精確對齊。TEL Saturn MP還為用戶提供了一個直觀的界面，允許方便的設置和操作，使其成為甚至新手用戶的理想選擇。它支持各種基板，包括矽（矽）、聚合物、玻璃和石英材料，以及傳統的濕工藝。所有這些特性使該資產具有高度的多功能性,即使是最具挑戰性的材料也能有效地進行陣列設計。該模型還能夠跟蹤和記錄過程數據，這對於學習和故障排除非常有價值。這一特性在處理復雜基板時特別有益，因為設備可以為用戶提供他們的模式和優化結果的詳細分析。為方便起見，TOKYO ELECTRON Saturn MP提供模塊化設計的化學站，在需要時可以快速方便地更換。這在處理需要專門加工的基材材料時可能特別有用。總體而言，土星MP是一種最先進的光刻膠系統，旨在使超微敏感設備的制造更加容易和高效。憑借其先進的曝光控制、直觀的界面和模塊化設計的化學站，這一單元為用戶提供了一種功能強大且可靠的光刻膠解決方案。