二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #293748011 待售

FSI Saturn是一種用於微光刻的光刻設備，用於產生光掩模，然後用於將圖樣轉移到半導體和其他電子元件上。土星系統利用一種專有的準分子激光器，該激光器發射深層紫外線，從光刻劑產生光掩模。光掩模是使用雙曝光過程產生的，其中準分子激光器被用於兩次曝光光刻膠，中間步驟是在曝光之間烘烤光刻膠。FSI土星單元產生的光掩模精確度令人難以置信，分辨率為0.25微米，均勻度為12.5納米。這臺機器能夠曝光低至0.2微米的淺層特征,以及形狀和尺寸均勻的光掩模上的特征,使其適用於最先進的半導體制造工藝。Saturn工具與標準和先進的光刻膠兼容，並且設計可以容納廣泛的掩模設計和材料，使制造商能夠為各種應用創建高度精確和復雜的光掩模。資產還包括一套軟件工具,如流程配方、曝光持續時間和模型控件,使用戶能夠以最小的工作量輕松創建所需的模式。此外，FSI Saturn設備能夠在投入生產之前對材料和工藝進行預審，這樣用戶就可以放心，他們的設計將符合預期的質量規格。這有助於減少開發階段浪費的時間,並確保光掩模在準備使用時具有最佳質量。土星系統是制造先進微電子元件的寶貴工具，在用戶友好的平臺上提供高度的精度和性能。