二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #293811533 待售

FSI土星是為先進IC技術的先進光刻加工而設計的高性能光刻設備。該系統由一個與高速熱/真空處理站耦合的高分辨率數字成像單元組成。它能夠實現高精度成像和蝕刻功能,從而在半導體晶片上創建亞微米、高縱橫比特征。土星提供了數字成像和熱/真空處理技術的組合，以提供極其精確、可重復和可靠的光刻結果。它利用專有的數字圖像采集機,在一次曝光中具有光學校正、全場和大面積成像功能。此外，它還提供了一套先進的集成分辨率增強技術（RET-E）工具，以實現關鍵的亞微米光刻能力。該工具包括一個高端真空處理站和熱處理控制單元以及一個直觀的多區控制面板。這允許對加工參數進行精確、可重復和準確的控制，從而產生非常高產量的產品，具有優越的均勻性和工藝效果。FSI土星還具有很大的活動區域和各種各樣的樣品處理選項，以適應多層處理。該資產旨在提供快速成像和處理周轉時間,總周期時間僅為1-2分鐘。此外，它還有一個監測、記錄和分析數據的綜合模型，從而大大節省了成本。該設備的設計成本低，易於操作，在緊湊的解決方案中提供各種光刻選項。土星是一種經濟高效、功能豐富的光刻系統，專為先進的光刻處理能力而設計。它使用其專有的數字圖像采集單元和先進的分辨率增強技術提供高度準確和可靠的成像和蝕刻結果。FSI Saturn具有快速的處理時間和集成的數據分析機器,是高端制造和研究應用的理想解決方案。