二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #293827880 待售

FSI土星是一種用於先進半導體生產工藝的光敏設備。這是一個兩步過程，由光刻和蝕刻組成，使制造商能夠在半導體晶片上產生極其精細和復雜的圖樣。在第一步中，光致抗蝕劑層通過圖樣化的光掩模（一種設計用來創建所需圖樣的掩模）暴露於光。這一過程在光致抗蝕劑層中產生化學反應，其蝕刻電阻性質。蝕刻電阻光致抗蝕劑層充當後續蝕刻步驟的掩模，這涉及在光致蝕劑仍然存在的區域蝕刻半導體晶片。這通過從晶圓中去除多余的材料來創建所需的電路。土星光致抗蝕劑系統在需要在半導體晶片上產生小圖案和設計的情況下特別有益。其模式分辨率能力遠高於其他光刻系統，這意味著它使制造商能夠使用更小、更精細的電路創建設備。該單元涉及使用雙光子吸收技術，允許光刻膠層在沒有層壓板材料或額外材料的情況下曝光，允許非常幹凈整潔的曝光過程。光刻膠也比其他系統具有更高的靈敏度，因此提供了優於替代系統的模式分辨率。FSI土星光刻機由於其更高的分辨率，承諾了更快的生產時間和成本效率等優勢。此外，它的雙光子吸收技術意味著制造商可以生產更小、更精細的圖案，讓他們創造出功能和應用比以前更好的設備。