二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #9236451 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn是一款為多種應用而設計的光刻設備，包括光刻、計量、光學和電接觸成像以及缺陷檢測。它為各種應用程序提供了一系列功能,從高分辨率成像功能到高級自動化和計算機輔助分析功能。該系統是圍繞一種新穎的光學布局構建的，具有可變間隙源/探測器單元，使機器能夠檢測不同大小和形狀的信號。這種光學布局結合了高速成像工具和自動晶圓分析資產，使FSI土星成為一種用於高精度圖像捕獲和特征描述的強大工具。TEL Saturn模型是一種16位分辨率的數字成像和控制設備，可以在一系列不同的計算機平臺上操作。它提供了一個寬視野（6.5x6.5mm）,用於成像大型物體和曲面,並提供低至0.8微米的分辨率。其可變間隙源/檢測器系統允許在各種物理環境中實現最佳圖像清晰度和準確性。該單元還能夠在自動檢查中識別多達16種模式，包括半導體金字塔和圓柱形結構。機器的核心是獲得專利的先進圖像捕獲技術，這種技術能夠提供非常精確的成像和信號分析能力。土星能夠測量波前失真和圖像對比度，方法是使用專門的線性編碼器，從圖像捕獲硬件讀取高分辨率數字信號，以及它的專利幹涉儀技術來分析表面拓撲。這種特性的結合使得該工具能夠檢測到小到0.5微米寬的缺陷，並以驚人的精度測量200微米厚的單個結構。TOKYO ELECTRON Saturn的自動化資產旨在確保其所有組件協同工作以連續產生高質量的圖像。該模型包括用於自校準、自動化過程控制和預測維護的智能算法，使其成為精確控制應用的理想解決方案。此外，FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn的定制軟件包包含交互式和批量修改圖像分析的工具。簡而言之，FSI Saturn光阻設備具有捕捉和表征高精度圖像的強大能力。其可變間隙源/檢測器系統、快速成像單元、自動化晶圓分析機以及先進的自校準和預測維護能力，使其成為許多先進制造工藝的理想平臺。TEL Saturn工具對表面拓撲結構的精確表征和對小缺陷的檢測使其成為許多行業的寶貴資產，從半導體制造到印刷和微型化過程。