二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Saturn #9237266 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Saturn）是一種光致抗蝕劑設備，用於制造和工程集成電路。該系統專為化學機械平面化（CMP）工藝而設計，涉及底物的化學蝕刻和物理拋光。該單元用於提高半導體器件的性能、可靠性和產率。FSI土星機由三個主要部件組成：旋轉塗層、顯影軌道和自動晶圓計量工具（AWMS）。自旋塗層用於在晶片上塗抹光刻膜。開發軌道負責開發光致抗蝕劑。AWMS確定了旋轉塗層的旋轉速度和時間,以及開發軌道的溫度和時間,以確保每個蝕刻和拋光過程的最佳性能。TEL Saturn資產能夠執行各種CMP過程，包括物理拋光、化學蝕刻、蝕刻和拋光、烘烤和硬烘烤、旋轉和洗滌。所有這些過程都使用模型的軟件進行控制。通過優化速度、壓力和溫度等CMP工藝參數，設備有助於提高半導體器件的性能、可靠性和產量。該系統還具有多種後處理功能，如邊緣鈍化、批量抗蝕刻和側壁圖像傳輸。在安全性方面，土星滿足了光敏裝置的所有要求。它配備了多個安全傳感器，可以檢測任何可能的風險，並向操作員發出任何危險的警報。還包括緊急停車功能，以及指導手冊和安全指南，幫助操作員了解機器並遵循安全程序。總之，TOKYO ELECTRON Saturn是設計和制造集成電路的先進工具。它具有優化的CMP參數以及後處理功能,以確保可靠和高質量的輸出。該資產還提供了眾多安全功能,使其成為工程和制造微芯片的安全有效的解決方案。