二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON TITAN #293748010 待售

FSI TITAN光刻設備是生產先進光刻和光電器件的獨特、高性能、耐沈積和開發系統。TITAN裝置具有創新的真空濺射沈積工藝，提供均勻、高度均勻的抗蝕層，具有優異的填隙能力。FSI TITAN工藝還產生了高度均勻的光刻膠輪廓，允許優越的光響應。TITAN光刻機是各種先進光刻工藝和光電器件生產應用的理想選擇，包括3D打印、先進X射線光刻、蒙版生產、半導體器件制造等。FSI TITAN工具由一臺FSI VSL掃描儀、FSI高性能真空濺射沈澱室、精密步進器、晶圓處理元件、流量控制、以及最先進的抗蝕劑開發設備組成。FSI VSL Scanner使用了先進的視覺資產和精確的電機控制，以確保抗蝕塗層過程不僅均勻而且高度準確。FSI高性能真空沈積室能夠提供均勻、優質的抗蝕層，具有優異的填隙能力。精密步進器用於在沈積和開發過程中精確移動晶片，確保每個步驟的質量控制。晶片處理組件可使晶片在加載站周圍平穩移動,確保晶片在此過程中不會卡住或損壞。TITAN模型的最先進的抗塗層開發設備、流量控制和步進技術提供了準確、可重復的薄膜抗塗層和開發過程。該設備對薄膜抗蝕劑進行自動處理，可實現卓越的高速薄膜開發。FSI高性能真空沈積室具有預熱性能，在抗沈積之前提供均勻且充分加熱的基板表面。預熱能力還保證了抗蝕層質量在整個過程中保持均勻。FSI TITAN光刻膠系統適用於低成本和高端生產環境。該設備的功能使其成為先進光刻和光電器件生產應用的理想選擇，包括3D打印、先進X射線光刻、蒙版生產、半導體器件制造等等。