二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON TITAN #9364338 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON TITAN是為先進光刻應用而設計的光刻設備。它具有高分辨率、精確的光學系統,具有較長的聚焦深度,能夠使用各種抗蝕劑。該單元由一臺高分辨率減壓光學機器、一個低壓成像室、一個多模或單模曝光源以及一個自動控制工具組成。該資產用於先進的光刻工藝，如亞微米圖像傳輸和電路切割。它還有助於減少暴露過程的成本和時間。此外,它還提供了更高的精度和可靠性,出色的可重復性,以及更高的檢測精度.該模型可用於多種材料，包括聚合物、高k介電膜、III-V化合物和金屬。它提供了一個優化的阻擋過程來實現陣列和輪廓控制。這意味著可以使用相同的參數來處理不同材料的曲面。設備還提供了應用基於同一系統平臺的各種成像技術的靈活性。這些技術包括幅度調制、相移和組合光刻。此外,由於其高分辨率的光學器件,該單元提供了更好的缺陷檢測精度.機器的組件包括源、探測器和光學器件。光學器件包括一個遠心透鏡、一個高功率電容器和一個消磁光學器件。該源包括一個脈沖激光，檢測器由高斯濾波器和一個線性的檢測器元素陣列組成。該成像工具旨在提供均勻的正向失真圖像，可同時用於正向和負向抗蝕劑。總體而言，FSI TITAN是一種易於使用、可靠的光阻資產。它具有較長的聚焦深度和高分辨率光學器件，非常適合先進的光刻應用。它提供了更高的精度和可靠性，卓越的可重復性，並提高了檢驗精度。此外,它的多模式和單模式曝光源允許應用各種阻抗過程來實現陣列和輪廓控制。