二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Transfer Chamber #293665124 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Transfer Chamber是一種光刻設備，用於制造先進的微電子裝置。該系統使用光刻技術在矽晶片基板上蝕刻圖樣，以創建復雜電子或微芯片設備的特征。這個單元由幾個組件組成，包括一個光刻應用站、一個面罩對準器和一臺烘焙機。光致抗蝕劑應用站使用自旋塗層將光敏材料光致抗蝕劑應用於晶片基板。這一過程涉及將晶片在卡盤上旋轉，同時用液體光致抗蝕劑-溶劑溶液塗覆。一旦溶液被應用，晶圓就暴露在紫外線（UV）光下。紫外線激活晶片上由掩模或模具指定的光刻圖樣。下一個組件,即掩碼對齊器,用於用掩碼精確註冊晶圓。這樣可以確保蒙版上的圖樣與晶圓上的圖樣完全匹配。配準由激光幹涉儀執行，該激光幹涉儀測量晶圓與掩模之間的距離。最後的組成部分是烘烤工具。對準後，將晶片放在烤箱中加熱。這種硬化過程將光刻膠交聯成耐用、持久的形式，可以承受隨後的蝕刻過程。硬化過程完成後,即可開始蝕刻過程。此蝕刻用於去除不需要的矽層並創建陣列以形成所需的設備組件。FSI Transfer Chamber是一種先進的光刻資產，用於創建復雜的微電子設備。它包括一個組件，如一個光刻應用站，一個面罩對準器和一個烘烤模型，每一個模型一起工作，蝕刻圖樣到基板上。這些工具共同為開發和生產先進電子設備提供了必要的精確度和準確性。