二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 200 #293640583 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 200是專門為先進的光刻圖案應用而設計的光刻設備。它簡化了光刻圖樣的制作過程，其中使用光敏材料在基板上創建圖樣。該系統具有高達4 μ m的高精度和高分辨率。該單元的曝光波長覆蓋範圍從350 nm到450 nm，也可以在紫外線UV-FEL或HeNe激光輻射源下工作。它具有多種面罩尺寸和材料選擇，如石英或熔融二氧化矽面罩。這臺機器包括一個先進的預對準器和一個包括自動校正功能的高效、高分辨率的自動檢測工具。此資產會自動檢測基板和圖樣的位置,然後對基板進行精確對齊,以最大程度地減少由於掩碼移位或焦點變化而產生的錯誤。FSI Zeta 200具有先進的成像和焦點控制功能,並具有內置的全模型聚焦調整（WSFA）功能,可實現快速、精確的平版印刷模式。光刻膠材料從盒式磁帶加載到TEL Zeta 200中,使用狀態由在線和離線控制設備跟蹤。快速充電功能使用戶能夠優化暗室效率。對於高分辨率光刻，系統具有先進的SE（Sub-resolution Acceleration）功能和JPEG-2000的數據壓縮功能。SE允許在低線寬、高吞吐量的基板上快速圖樣化，JPEG-2000數據壓縮支持質量均勻的大圖樣數據。Zeta 200旨在通過高效的工作流提供高效、準確和高分辨率的陣列。該機具有強大的單元設計、先進的成像和聚焦控制以及用戶友好的操作，非常適合光刻光刻應用。