二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 200 #293798027 待售
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 200是一種尖端的光阻設備，設計用於在高度精確的光掩模內快速創建均勻的微電路結構。該系統具有高分辨率激光掃描功能，能夠將復雜數據轉換為物理電路結構，是多光刻應用的理想選擇。它采用一種新型激光光學裝置，能夠產生具有重復精度和低失真的納米級電路模式。其獨特的開放式架構光學機器提供了前所未有的靈活性，允許在各種照明條件下使用，允許高生產吞吐量。FSI Zeta 200具有獨特設計的冷卻工具,可實現最佳打印性能,利用空氣減少散熱和柱發射,從而提高穩定性。其先進的數據管理系統支持多種用戶設置,具有可恢復的地形圖像輸出,從而實現了有效的多設備制造。TEL Zeta 200生產的光掩模具有強大的EDVAS資產，提供了出色的圖案精度、穩健的對準和可靠的掩模制作過程控制。此外,此模型還配備了新一級的計算機輔助設計（CAD）、光掩碼校正和後端打印評估。該設備允許對各種參數進行多次模擬，以準確確定精確的抗拒標準、最佳曝光時間等參數。Zeta 200是一種高度可靠和有效的光致抗蝕劑工藝的基礎。其關鍵組件包括堅固的光學系統、強大的EDVAS和先進的冷卻單元,以確保最高的精度和性能。通過獨特的技術組合，這臺機器能夠在較短的周轉時間內產生高度精確的微電路。它結合了重復精度、高吞吐量和可擴展性，是各種先進光刻應用的絕佳選擇。
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