二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #293600179 待售
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3是為電子器件制造而設計的高性能光刻設備。它匯集了先進的硬件和軟件解決方案,為現代半導體制造提供盡可能高的精度和吞吐量。該系統能夠進行最精確的光刻成像，以及光刻材料的清潔、烘烤和加工。照明源為三波長LED陣列。LED可獨立調節,可提供三種不同的磁場深度,從而實現出色的聚焦和最大分辨率。自動基板表允許以最高精度傳遞光刻膠材料,而無需手動設置焦點位置。這就產生了最佳的過程準確性和可重復性。光刻膠加工室配備了一系列加熱的板材，允許「加熱」和「熱」烘烤操作，以及預蝕刻加工。該腔室還具有真空裝置，可以最佳地控制水分水平和其他特性，如熱擴散。腔室由專門的循環冷卻機進一步支撐，確保最高精度和熱調節水平。高精度步進電機和級對準工具，連同自動晶圓傳輸，最大限度地減少了「通過矽通」（TSV）缺陷形成的總風險。這樣可以在用戶幹預最少的情況下確保高效制造。此外,該資產的綜合軟件套件還提供了全面的適應性和可配置性。該模型支持廣泛的光刻膠系統，其設置可以針對每個特定配方進行優化。這也可以方便地設置低影響過程的復雜配方,如自對齊雙模式。綜上所述，FSI Zeta 300 G3光刻設備是為生產高精度半導體而設計的高度先進的系統。其先進的照明、供暖和制冷能力，加上其全面的軟件套件，使其能夠取得一致和可重復的生產成果。
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