二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #293600193 待售
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3光刻設備是一種先進的光刻工具，用於制造半導體器件和其他電子產品。該系統由工作臺、光掩模標線臺、光刻頭、光刻噴霧器和控制器組成。工作表為其他元件提供了一個穩定的平臺，用於間隔組件、晶圓放置和卸載操作。光刻頭是一個雙軸四軸電動級，能夠提供高精度和可重復性在廣泛的加速度和行進速度。光掩模標線級是一個精密的XY掃描級，利用高分辨率、高精度的傳感器提供準確的定位反饋。光敏噴霧器用於晶片表面的均勻塗層。控制器提供設備的操作，進行計算以維持必要的相機曝光設置，控制光刻頭和標線臺的運動，並與外部驅動力接口。FSI Zeta 300 G3光刻機為晶片的高分辨率和高通量生產而設計。它能夠加工直徑達150毫米的基板，最小特征尺寸為2.5 µm。該工具采用先進的技術，如先進的距離測量（ADM）、閉環光刻膠過期控制和低漂移遠程操作特性。它還包括一個獲得專利的自動化光學維護資產，這確保了光學的安全和功能。TEL Zeta 300 G3 Photoresist模型提供了多系統的高性能、精確度和集成，導致制造過程中的產量增加，周期時間縮短。它還與廣泛的化學物質、光掩模和電子束儀器兼容。
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