二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #293600195 待售
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FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3光抗蝕劑設備是一種用於對用於制造計算機芯片的半導體IC（集成電路）進行制圖的抗蝕劑條帶裝置。該設備設計為剝離具有最小特征失真量的高分辨率特征。這是通過向半導體基板上使用的光致抗蝕劑呈現均勻一致的抗蝕劑輪廓來實現的。該系統由一個包含一系列抵抗帶的抵抗帶室組成。不均勻的抗蝕條是通過依次移動抗蝕條並將其暴露於光束形成單元中的光束中而創建的,在光束形成單元中,以均勻間隔的方式修改抗蝕條輪廓。抗蝕帶室還包含一個加熱板，確保溫度分布均勻。抗蝕帶室由不銹鋼製成，內含加熱板。為保護抗蝕條輪廓不受變形，加熱板設計為均勻、輕輕加熱抗蝕條表面。此外,先進的溫度控制技術保持了耐火條的均勻溫度分布.FSI Zeta 300 G3光刻裝置配備了光成形裝置和光探測裝置。光成形單元是TEL Zeta 300 G3光抗蝕機的核心，用於創建抗蝕劑條形。光形成單元產生的激光光束分布在抗蝕條的寬度上，而光檢測單元測量抗蝕條輪廓的變化。通過精確控制抗蝕條的寬度,可以確保精確創建抗蝕條輪廓。最後,TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3光刻工具配備了資產控制面板,可精確控制工作溫度和耐火條寬度。此外,該面板還可用於監視模型的狀態。Zeta 300 G3光阻設備是精密IC（集成電路）制造的理想工具,也是實現半導體IC優異的抗蝕性條形的完美解決方案。該系統不僅確保了抗蝕條精確且間距均勻，而且利用先進技術保護了抗蝕條輪廓不受變形。此外，由於其易於使用的單元控制面板，可以實現對抗蝕劑條輪廓的精確控制。所有這些特性使得FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3光抗蝕機成為實現高分辨率抗蝕劑條形的完美解決方案。
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