二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3 #9397351 待售
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單擊可縮放
ID: 9397351
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Spray cleaning system, 12"
(2) Chemical canister consoles
Titanium turntable style
Type: Robot
BROOKS AUTOMATION 2406-V2 Robot
STAUBLI TX90XLSCRfsi2 Robot
Does not include Hard Drive Disk (HDD)
Process modules:
Fluid Delivery Module (FDM)
Process Module (PM)
Material Handling Module (MHM)
Multi Position (MP)
Material Handling System (MHS)
Canister console
Power distribution cabinet
Canisters:
(3) H2O2
H2SO4
NH4OH
HCL
DHF
Missing parts:
Robot
PC
2006 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3光抗蝕劑設備是一種最先進的自動化生產工具，旨在方便半導體器件的制造。FSI Zeta 300 G3具有具有多種對齊選項的高分辨率10微米步進器和用於高級光刻的多層薄膜系統。光敏裝置能夠快速、精確地產生復雜的圖樣。TEL Zeta 300 G3配備了高度精確的鏡頭組件，兼作顯微鏡和輸出平臺。這可以讓使用者輕鬆檢視及操縱處理過的光刻膠。該機還包括一個自動卡帶到卡帶傳輸工具，允許用戶快速、精確地加載和卸載電路。Zeta 300 G3提供卓越的分辨率來產生以納米為單位測量的亞微米特征。該資產采用多波長和偏振設置，以確保精確定位和復制抗蝕劑掩模圖樣。室內用高度的氧氣控制進行凈化，清潔高效的抗菌處理。TOKYO ELECTRON ZETA 300 G3的先進多層薄膜模型，使得層的光刻膠能夠均勻且精確的沈積。內部快門由電子控制，在光刻過程中允許高通量和精確度。陣列模板可以通過選擇CAD軟件輕松導入到設備中,也可以在內部生成。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 G3是光刻加工的真正動力。其先進的成像和對準系統提供了無與倫比的精度，而其導膜系統則確保了抗蝕層的均勻沈積。該單元可以最精確地快速處理復雜的模式，從而能夠高效生產半導體器件。
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