二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #293639153 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300是專為高精度光刻工作而設計的光刻設備。該系統由多個組件組成，包括主控制單元、光源、顯微鏡、腔室、晶片級和晶片載流子。主控制器包含一臺用於監視設備的計算機,以及用於調整機器參數的可編程控件。光源是一種UV光，設計用來將光刻膠暴露在正確的波長下，以便創建圖樣。該顯微鏡用於將光精確聚焦到光刻膠上，並且可以調整以獲得最佳的圖像分辨率。腔室是一個大容器，用來容納組件並保持清潔、無塵的環境。利用晶片級在加工過程中移動工件，利用晶片載流子確保光刻膠在腔內處於最佳位置。除了組件外，FSI Zeta 300還有幾個功能可以提高性能。這些特點包括高密度投影工具、納米電子顯微鏡支持以及對資產的實時監控。TEL Zeta 300提供高精度光刻，最小線寬0.2 µm，高分辨率100納米。它能夠保持小於0.02 µm的對準精度，以及0.6 µm的聚焦深度，允許重復可靠的結果。此外，它還能夠快速移動工件，實現高達25mm/秒的掃描速度。TOKYO ELECTRON Zeta 300被設計為在光刻工藝中與其他工具結合使用，包括基底盒、清潔模組和抵抗處理單元。所有這些組件都通過單個用戶界面進行集成,以確保高效而可靠的操作。此外，該模型還能夠處理各種光敏材料，包括液體和幹式材料。總體而言，Zeta 300是一種先進的光刻設備，非常適合各種光刻應用。它具有一系列功能和組件,使其易於使用,同時提供高精度和可靠的結果。