二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #9140979 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300 Photoresist Equipment是一種高精度的抗蝕劑蝕刻系統，可以產生精確的圖樣來製造複雜的光掩模。該單元配備了先進的控制機器，可以控制蝕刻過程的每個步驟，從樣品制備到面膜的最終處置。它有一個強大的抗蝕劑，它使用撞擊射流均勻地在基板表面散布光致抗蝕劑。它還有一個增量曝光控制工具，允許基板可重復暴露於各種波長的光，以確保精確的圖案。資產還具有集成的圖像分析儀，可以測量蝕刻在基板上的圖案的大小、形狀和邊界。這樣可以精確控制蝕刻過程，為最終的光掩模產生精確的圖樣。該模型可分別通過使用正抗噴霧劑和負抗噴霧劑蝕刻正負抗蝕劑。此外，設備還可應用多種蝕刻後處理，如大衣、灰泥、烘烤等，以改善基材的生命周期和穩定性。FSI Zeta 300光刻膠系統由於精度和精確度高，設計用於半導體工業。其卓越的性能和廣泛的特性使得它非常適合生產具有精確定義的特征和形狀的光掩模。該單元還具有較高的吞吐量，允許更快地生產光掩模。此外，它的化學相容性允許廣泛的光敏材料使用。此外,它的用戶友好界面使機器易於安裝和操作,而且高度自動化使操作員更容易一致地生成可重復的高精度模式。