二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #9149325 待售

FSI/TOYKO ELECTRON FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300是一種光抗蝕劑系統，專門研究光學元件的抗反射（AR）塗層。FSI Zeta 300專為幫助優化AR層的特性和降低其下方塗層的可見性而設計。TEL Zeta 300采用了一種稱為PR（曝光後抗蝕劑）的兩部分光敏塗層工藝，它涉及一種特殊的起泡工藝以及抗烘烤。在引發過程中，一種特殊形式的化學氣相沈積（CVD）被用來制造一層薄薄的碳質物質，作為對過程化學物質的蒸氣分子的屏障。這有助於確保所選塗層的最佳均勻性。防腐烘烤工藝遵循底漆，用於控制PR層的厚度和粘附特性。這一過程利用波長為10.6微米的紅外激光器，使抗蝕劑材料發熱，在光學表面上形成「蝕刻面罩」。此步驟有助於防止由於PR層粘附不良而在塗層過程中產生任何不良影響。TOKYO ELECTRON Zeta 300還融合了獨特的R&D（反射和擴散）特性，評估了PR層的光學性能。此功能允許用戶調整所選塗層的吸收水平，確保最佳水平的光反射和擴散能力。最後，Zeta 300還配備了自動立體光刻系統，能夠對光學材料進行精確的3D成像。這種類型的成像有助於識別和糾正任何可能改變AR塗層性能的表面缺陷。這些特性結合FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300光刻膠系統的先進精度，使其成為AR層精度和性能至關重要的應用的理想選擇。