二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #9158152 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300是一款能在單一集成平臺上蝕刻、開發和打印基板的高性能光刻設備。該系統具有先進的蝕刻速率和準確性以及與當今最先進的光刻材料的卓越兼容性。FSI Zeta 300集FSI和TEL高效UV源於一身，具有高速制圖和成像能力。該裝置可處理尺寸達200毫米的基板，並提供快速取樣、高通量的高密度圖樣。TEL Zeta 300提供各種蝕刻選項,具有可調節的輻照度、均勻性和先進的裝飾蝕刻功能。集成的UV源可以提供快速、高質量的蝕刻速率以及高效的陣列。該機還配備了強大的自動化能力，包括可編程曝光參數、圖案面罩和自動基板處理。該工具還具有先進的超精細控制功能,允許精確調整蝕刻速率、過度清潔和殘留抗蝕性比。這是通過直接控制曝光參數、可調照明均勻性以及真正的高精度、低失真圖樣和成像等多種功能的組合來實現的。TOKYO ELECTRON Zeta 300與半導體、MEMS和高頻器件中使用的光敏材料具有極好的兼容性。該資產還通過其自動化的過程控制功能確保了高度的可靠性。該模型是為可靠性而設計，並提供熱/冷清潔循環，自動基板表面表征和基板保護功能。Zeta 300還具有節能功能,可降低工藝成本,同時滿足日益嚴格的環境法規要求。設備不僅節約資源，而且減少工人接觸有害材料的機會。該系統還提供高級數據核算和記錄保存，用於監測過程。最後,FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300是一款最先進的光刻裝置,具有出色的蝕刻精度、快速的取樣、高通量的高密度圖樣和先進的超精細控制。該機非常適合半導體、MEMS和高頻器件。該工具還可確保節能、工人安全、流程成本降低和流程監控功能。