二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta 300 #9160258 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300是一種高性能的光致抗蝕劑設備，用於半導體工業加工微加工元件。FSI Zeta 300利用高分辨率投影對準系統，精確對準微型件。TEL Zeta 300采用自動接觸式對準器，可提供納米級對準精度，並確保光敏材料的均勻曝光。Zeta 300還配備了分辨率監視器，可以在過程中準確監控組件的開發。TOKYO ELECTRON Zeta 300還提供多種底物預處理和後處理溶液。這包括一個自動濕加工站、自動測量單元和專門的材料加工能力。此外，FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300配備了可編程智能裝載機/卸載機，可以在過程的不同階段之間移動晶片。FSI Zeta 300利用兩個源板電子束曝光系統，將光敏材料精確地暴露在所需紫外線輻射下。這些系統一次最多可處理兩種底物，每個接觸周期最多可輸送7,500 mJ/cm2，並且可以編程為每個場提供均勻劑量。電子束系統能夠分辨出尺寸小於0.5 μ m的特征，並且能夠暴露光刻膠、電介質或金屬等材料。TEL Zeta 300還具有自動厚度監視器（ATM）,能夠自動測量光刻材料的厚度。自動取款機能夠同時監測基板上多達20個區域，從而能夠準確測量和控制開發過程。Zeta 300還配備了專門的大氣壓力等離子體CVA （APPC）機，能夠生產高能氧等離子體用於可靠的熱板或晶片回磨，從而減少晶片斷裂的機會。APPC工具還能夠為特定的工藝後應用生產各種其他氣體。最後，TOKYO ELECTRON Zeta 300還配備了一個熱板資產，用於在基板上統一分配光敏材料。熱板也可用於進行軟烘烤操作。FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta 300易用，可由單一使用者管理，非常適合低批量生產環境。