二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta G2 #9204590 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta G2是一種光刻設備，采用先進的專有技術設計，為半導體工業MEMS等工藝提供蝕刻和光刻能力。FSI Zeta G2提供卓越的邊緣敏銳度和高分辨率,幫助制造商生產一流的產品。它整合了原子層沈積和過程控制兩項基本技術，創建了先進的光刻膠系統。TEL Zeta G2是一種大氣壓蝕刻器，配置了最新的等離子體源技術，以提供精確和均勻的蝕刻。它旨在更精確可靠地蝕刻薄膜，同時還提供高長寬比蝕刻和高蝕刻率均勻性。該裝置還具有改進的真空室PID控制器，有助於增強不同工藝條件下的蝕刻。Zeta G2還具有基於系統的光刻方法，結合了高長寬比蝕刻、精確晶圓對準和叠加精度。它配置了高通量光刻軌跡，以幫助確保在蝕刻過程中均勻且可重復的圖樣性能。此外，它還有一個先進的自動化光學計量系統，有助於對工藝結果進行更精確的測量。TOKYO ELECTRON Zeta G2還配備了全自動集群工具，通過減少過程中所需的手動調整次數幫助降低成本。這種自動化的群集工具有助於加快加工時間,減少由於蝕刻或光刻不準確而導致的故障。群集工具還有助於標準化流程配方，允許用戶在一次運行中設置多個流程。總體而言,FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta G2是一款先進的光刻機,為MEMS制造等工藝提供出色的蝕刻和光刻能力。它采用了蝕刻和光刻的專有技術、先進的自動化集群工具、改進的真空室PID控制器以及自動光學計量，以幫助確保更準確的結果。借助FSI Zeta G2,制造商可以更及時、更經濟高效地實現高質量的產品。