二手 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Zeta #293759249 待售

FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Zeta是一款由FSI Ltd制造的光致抗蝕劑設備。該系統是一種精密的光刻裝置，可用於開發各種電子元件和器件的電路模式。光刻機由一個主單元和幾個可選的外圍設備組成,具體取決於作業的類型或復雜性。初級單元通常由多個組件組成,包括預處理,如基板清潔和塗層、晶圓傳輸、光敏塗層和電路開發。它還可能包括分析和監測系統、激光系統或紅外輔助激光系統。初級單元位於基板或級之上，許多半導體晶片或基板可以定位在基板或級之上，並暴露於紫外線輻射下。通過使用光掩模圖樣或手動操作來完成曝光。照射在時間和光照強度上都受到控制。曝光步驟後，進行預處理和光敏塗層步驟。預處理包括晶片的清潔、幹燥、烘烤、預制等步驟。光致抗蝕劑塗層通常使用噴嘴塗層（旋轉塗層、噴塗塗層或滾動塗層方法）進行。然後將塗層的晶片加熱以使塗層凝固。一旦塗層完成，晶片被轉移到顯影室。之後，使用蝕刻工藝來開發所需的電路模式。此過程涉及幾種可能的蝕刻方法中的一種或多種，如等離子體蝕刻、熱蝕刻或濕蝕刻。最後，根據需要進行任何額外的蝕刻或沈積步驟，對圖樣化晶片進行後處理。這包括晶片的清潔、幹燥和包裝。根據產品的類型，一些基片可能需要鈍化步驟。FSI Zeta光刻工具能夠產生高精度的電路模式，並具有一致的高通量。它是生產各種電子元件和設備的可靠和成本效益高的工具。