二手 FSI / YIELDUP Omega 4000 #180522 待售
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單擊可縮放
ID: 180522
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Megasonic wafer cleaning system, 8"
(2) Stand alone tanks
Automatic loading
Process: Marangoni and SC1
Set up to inject SCi
NHOH and H202 Mix typical clean solution
(50) Wafer boats
1" Inlet-35-60PSI @10gpm
Nitrogen: 75-85 PSI
Exhaust: >350cfm
Drain 30gpm, 2" or larger
Operating temperature: 70 Degree, ±3 degrees
Operating humidity: 40, ±6%RH
Megasonic unit not included
Recirculated tank only
Currently de-installed
1997 vintage.
FSI/RIELDUP Omega 4000是一種光刻設備,用於從印刷電路板和其他材料創建設備和組件。該系統利用光將圖樣蝕刻到一系列基材中，可用於正負光抗蝕劑。FSI Omega 4000利用精密的光學對準和計算機控制的自動化,非常適合高精度項目。該單元由光源組成，使各種類型的光刻膠得以使用。它使用不同的光源來選擇性地暴露基板。這包括用於捕獲精細細節的發光二極管（LED）和用於捕獲高分辨率細節的激光通量光學器件。此外,采用先進的照相機對成品進行精確成像和檢測.RIELDUP Omega 4000支持負極和正極光抗蝕劑工藝。負光抗蝕劑的作用是保持暴露在光線下的圖樣，負光抗蝕劑的蝕刻被應用在光抗蝕劑的顯影之後。利用正的光刻膠，通過光照蝕刻圖樣，並在顯影後保留圖樣。這使用戶能夠保留精細的細節並更好地控制其設備的制造。該工具能夠達到高達4微米的分辨率和高達3毫米的厚度。其先進的光學器件還可以在大面積上提供+/-0.03%的失真,對於較小的區域也可以提供+/-0.005%的失真。Omega 4000是一種先進的光刻膠資產,可為廣泛的應用提供高精度的結果。它非常適合那些要求高分辨率、準確性和可重復性的項目。它已被證明是市場上最先進的光刻膠系統之一。
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