二手 FU SHENG FR100APII #9247060 待售

FU SHENG FR100APII是利用全息技術進行激光寫入和記錄的先進光刻設備。該系統為有機層的成像、對準和充電提供精確的亞微米分辨率,並且能夠產生具有較高線寬和長寬比的圖樣。該單元由熒光層寫入/充電子系統（FLW/CS）和激光曝光子系統（LES）兩個子系統組成。FLW/CS使用激光束為光刻過程中使用的有機層充電。利用專門設計的數字掃描機和波動能量檢測器，對整個充電過程進行精確控制。LES使用三種類型的幹涉濾波激光器--UV、HeNe和KrF--將光刻膠暴露在光輻射下，使其在暴露時變硬。激光被設計成產生低脈沖速率和非常小的光斑大小。FR100APT工具還具有自動晶片或基板加載和傳輸資產以及用於創建多個模式字段的自動索引多場步進器（AIMFS）。這對於需要大量階段和高精度的芯片設計極為有用。該模型的光學設備配備了高功率目標，以提高書寫和模式創建過程的準確性。該系統還設有一個數字成像裝置，使用戶能夠監測光刻膠並對曝光參數進行任何必要的調整。FR100APT最多可以存儲30個程序，這些程序通常與需要重復的特定光刻過程有關。這樣可以節省時間和精力，因為用戶只需要輸入一次相關參數，而不是在每次需要重復過程時重新輸入它們。因此，復雜的光刻膠工藝比以往任何時候都以更快的速度和更精確的方式進行管理。總體而言，FR100APII光刻機利用尖端技術，以較高的線寬和長寬比制作精密的亞微米圖案和圖像。它是光刻工業中的一個寶貴工具，使用戶能夠以快速和準確的方式創建多種復雜的模式。