二手 GALILEO 1650 #9152142 待售

GALILEO 1650是由SUSS MicroTec製造的精密光刻設備。它為成本效益高的光刻技術提供了最先進的光刻系統。該單元專為研發應用而設計，如制造晶片用於制造半導體和MEMS器件、生物芯片和光學元件。1650機器具有先進的晶圓級,用於無振動掃描和自動平整。它使用先進的基於幹涉儀的工具來精確定位精度高達0.2 µm和0.22°。資產還具有高達每秒200步的高步進速度和450 mm x 450 mm的大場大小。GALILEO 1650型號配備高分辨率數碼相機（600萬像素），用於點陣成像，用於晶圓的精確對準和配準。成像設備還能夠拍攝視頻以更好地查看晶圓表面。數字成像支持365nm、436nm、2000nm、6x12 mm和8x12 mm等多種膠片格式。包括一個完整的軟件套件，以便用戶友好地控制系統。軟件套件包括模式開發、工藝定義、晶片裝卸、曝光、自動檢查、維護等程序。直觀的用戶界面為所有級別的用戶提供了一個易於使用的環境。1650單元還配備了高效燒蝕機，可提高生產率和產量。燒蝕工具具有溫度和排放綜合控制功能，以確保最佳效果。最後，GALILEO 1650光致抗蝕劑資產為制造晶片和芯片提供了一個成本效益高且可靠的解決方案。該型號配備了精確的定位精度、出色的成像能力以及高效的燒蝕設備。用戶友好的軟件和直觀的用戶界面使系統成為各種用例的理想選擇。