二手 GREENHECK / PICOTRACK Vektor-H-12-9 #9265693 待售

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GREENHECK / PICOTRACK Vektor-H-12-9
已售出
ID: 9265693
Spin coater Exhaust: 1800 CFM Voltage: 460 V.
GREENHECK/PICOTRACK Vektor-H-12-9光刻設備是一種先進的成像工藝,用於掩蔽表面進行蝕刻和其他成形工藝。利用成像技術的最新進步,GREENHECK Vektor-H-12-9被設計成提供高分辨率的復雜圖樣成像直接到晶片或基板上,變化最小。光致抗蝕劑系統利用光將所需的圖樣傳遞到具有可曝光成像介質的材料表面,如光致抗蝕劑掩模、光致掩模薄膜和光致掩模空白。用於創建圖像的光源通常是準分子激光器,一種高能激光脈沖,其威力足以燒蝕光敏介質,從而產生納米尺度的圖樣。利用具有激光聚焦能力的光刻系統開發圖樣。根據所需的設計,光束通過高分辨率透鏡聚焦,以便精確精確地繪制圖像。這個成像過程的目的是產生細胞在蝕刻和材料形成過程中會堅持的模式。PICOTRACK Vektor-H-12-9采用集成的高分辨率陣列單元設計,可輕松操作光刻膠掩模。光掩膜裝入機器後,用戶可以控制膠片對激光束的曝光、膠片厚度等參數,確保圖像在基板上精確描繪。該工具利用近場光學方法來控制光阻過程,從而能夠更好地控制圖樣,減少缺陷的形成。此外,Vektor-H-12-9還包括溫度控制和高級路徑規劃設備,這有助於在整個成像過程中保持圖像的準確性和質量。GREENHECK/PICOTRACK Vektor-H-12-9是一種強大的工具,它可以對晶圓和基板進行陣列設計,並具有高精度的納米比例圖像。該資產專為自動化制造過程而設計,並且在將圖案轉移到材料上時具有極高的準確性。近場光學方法和集成控制特性有助於確保光刻膠模型產生的圖像質量。
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