二手 GRO-UP GSPC-6 / GCP-713B #171530 待售

GRO-UP GSPC-6/ GCP-713B光刻膠設備是一種用於制備、塗覆和曝光光刻膠材料的綜合系統。該單元設計用於在電子中間膜（EIF）基板上執行高分辨率電路陣列。這臺機器的主要部件包括計量工具、烤箱、塗層和曝光源。計量資產精確計量,一次最多可混合四個基本組件,以便進行配方定制。精密計量缸具有可調電平控制裝置和直接驅動伺服裝置,即使在低電平下也能確保精確和可重復的計量。然後將計量的光敏材料準備好進行塗層。烤箱用於將光敏材料加熱到適合塗層和加工的溫度。加熱可以分兩個階段進行，既可以對材料進行預幹燥，也可以對塗層進行後固化。這也可用於通過批處理同時處理多個基板來提高模型的吞吐量。塗層在基板上塗上均勻一致的光敏材料塗層。對沈積物進行厚度、膜成分、表面成分以及蛇角、扭曲、方向等參數的自動控制和監控。步進和運動控制設備自動調整壓力和流量，一致地達到準確和一致的結果。曝光系統由紫外線光源、反射鏡和鏡子組成。光源提供強烈的紫外線輻射，飽和整個基板表面。這使得在後處理過程中基板的暴露區域和未暴露區域之間能夠自我對齊。光源也可調節，為微米級精細圖案提供受控的低功率曝光。GSPC-6/ GCP-713B光敏裝置是滿足先進電路模式需求的理想解決方案。它提供精確一致的性能、高吞吐量和一致的結果。該機適用於EIF光敏處理，適用於需要精密和高分辨率電路圖樣的應用。先進的計量、烤箱、塗料和曝光工具為高效加工先進的光刻材料提供了最佳的設備和功能組合。