二手 HEADWAY CB 15 #9392727 待售

HEADWAY CB 15光抗蝕劑設備是一種先進而堅固的化學氣相沈積（CVD）系統，旨在在固態基板上產生高質量的光致抗蝕劑層。它能以最少的時間、精力和成本發展電影。該單元利用專有的過程控制功能、自動化的運行結束診斷以及定制的組件來實現卓越的光刻膠層粘附強度和均勻性。該機由一個自動化的加工室、一個真空工具、一個空氣供應的加熱室以及控制和監測軟件組成。CVD過程涉及在基板表面上沈積一層光敏材料薄膜。接下來是一系列腐蝕性清潔或整理步驟，以及應用保護層或光掩層。在CB 15資產中，該過程是通過將含有光致抗蝕劑前體的大氣蒸氣送入工藝室而啟動的。這會產生懸浮在空氣中的反應物分子的汽化氣體。該裝置具有高效的一次疏散周期和最短的恢復時間。它的壓力可變歧管和內置加熱器允許用戶精確控制工藝室內的壓力和溫度範圍。這有助於確保光致抗蝕劑層在基板上的均勻沈積和可靠的粘附性能。模型的運行結束診斷程序會自動檢測過程的有害副作用,如氣泡和空隙。HEADWAY CB 15設備可與多種光刻膠材料搭配使用，從傳統的有機光刻膠（OPR）到光刻膠聚合物和無機材料。它能夠精確、均勻地沈積甚至非常薄的光刻膠層，因此非常適合需要精確層厚的高端應用。CB 15能夠處理石英、矽、砷、氮化矽、的材料，與標準的光刻和濕蝕加工兼容。該系統可以遠程操作，並得到綜合用戶手冊的支持，以確保正確高效的操作。它的自動化運行結束診斷和實時記錄過程參數確保了進一步的易於操作。最後,該設備配有一系列定制的附件和更換設備,以防硬件出現故障。因此，HEADWAY CB 15光抗蝕劑單元是在固態基板上進行光抗蝕劑層精密沈積的理想選擇。