二手 HEADWAY EC 101 #114660 待售

HEADWAY EC 101是一種用於半導體制造的光敏設備。它是一種自旋塗層系統，結合了一種自旋高達300 RPM的光敏化學物質，使其可以應用於厚度均勻的晶片表面。此單元可用於將適當的電路陣列到芯片和其它元件上進行制造。HEADWAY EC101是一種單面機器，有一個供操作員裝載和重新裝填的分配器站、一個旋轉塗層模塊和一個曝光後烘烤站。該工具的設計易於維護，操作員幹預最少，並具有精確的流量控制、低輻射暴露和高產率。使用雙噴嘴資產設計進一步加強了自旋塗層工藝,使自旋塗層時間得到獨立控制,這對於高質量晶圓圖樣制作結果至關重要。該模型還包括一個集成的自旋沖洗和吹出設備，有助於減少晶片上殘留液體，並消除任何汙染，這將有助於減少亂七八糟和質量問題的機會。此外，一個綜合氣體輔助曝光後烘烤站有助於提高晶圓上產生的模式的清晰度和質量。EC 101設計為與現有單面光刻膠系統兼容,具有多種安全功能,包括真空保護和冷卻劑損失檢測。它還設計用於人體工程學和易用性，以確保該系統能夠在人類幹擾最小的情況下運行。該裝置設計用於小型和大型半導體制造，是任何一種芯片生產的絕佳選擇。