二手 HEADWAY EC 101 #114662 待售

HEADWAY EC 101是一種設計用於微電子制造過程的光刻設備。它是一種水溶性有機硫聚合物光刻材料，在光刻和蝕刻過程中為保護功能化基板而開發。HEADWAY EC101系統包括兩個組件：抗蝕液和顯影液.抗蝕劑液體中含有聚合物光致抗蝕劑材料，該材料被塗在基材上。一旦暴露在紫外線輻射下，聚合物材料交聯並充當保護層。顯影液在光刻或蝕刻過程完成後用於溶解聚合物光刻材料。這一過程被稱為「發展」，是清除光刻或蝕刻後可能殘留在基板上的任何不需要的抗蝕劑材料所必需的。EC 101單元的優點包括成本低、處理時間快、分辨率高。此外，抗蝕劑液體和顯影液與廣泛的光刻和蝕刻技術兼容，包括高級光刻、深反應性離子蝕刻（DRIE）和化學機械平面化（CMP）。與其他光刻膠系統相比，EC101成本低使得它成為半導體芯片制造商非常有吸引力的選擇。它也是高級光刻應用的可靠選擇,因為它的高分辨率結果使制造商能夠在其芯片上創建更復雜的設計。此外,HEADWAY EC 101機器與化學屏幕兼容,使OEM能夠減少與開發定制解決方案相關的成本。此外,通過快速處理時間,它可以實現高吞吐量,這意味著制造商可以提高其資源的效率。綜上所述，HEADWAY EC101工具是各類半導體芯片制造的絕佳選擇，提供了極大的成本節約和優異的分辨率效果。此外，它與各種不同的光刻和蝕刻技術的廣泛兼容性使其能夠可靠和適應各種需要。