二手 HEADWAY EC 101 #9185483 待售
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HEADWAY EC 101是設計用於金屬表面精加工的先進光刻設備。該系統采用環氧基抗蝕劑制劑,用於表面制備和處理後應用。抗蝕劑配方具有一定的粘度和固體含量,固化溫度為90°C。抗蝕劑配方通過噴霧、滾動或刷子應用在表面。塗抹固化後,抗蝕劑會在表面形成保護膜。薄膜可以抵抗腐蝕和水分,同時提供均勻、均勻的光潔度.HEADWAY EC101單元利用了一個專有的水蝕刻包裝,該包裝由OxPhos和基於KOH的溶液組成。OxPhos是磷酸和磷酸鉀的溶液。它提供了金屬表面的高效蝕刻,並將去除殘留物從以前的處理或加工操作。基於KOH的溶液設計用於有效和一致的氮化物和氧化物去除。蝕刻封裝會套用到表面,並在頂部放置遮罩。然後使用掩蔽光源有選擇地暴露光敏中和區域,以使金屬有控制的蝕刻。根據抗蝕劑的厚度和性質,可以使用幾種光致抗蝕劑。每種光致抗蝕劑的蝕刻速率通過控制曝光和固定過度顯影來控制,從而迫使蝕刻劑在光致蝕劑周圍或上方。除了抗蝕機和蝕刻包,EC 101工具還包括一個後處理步驟來保護成品。後處理包括可選浸入熱堿性氯化溶液或熱硝酸溶液。熱溶液在成品周圍形成防止氧化、腐蝕和水分的保護密封。使用EC101資產,成品更能抵抗氧化、腐蝕和濕氣,從而產生更耐用、更持久的金屬表面處理和產品。
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