二手 HEADWAY EC 102 Type 2 #10832 待售

製造商
HEADWAY
模型
EC 102 Type 2
ID: 10832
Photoresist dispenser control box.
HEADWAY EC 102型2型光刻設備是一種在所需區域上形成固化薄層的高精度電子元件的工藝。是集成電路、平板顯示器等超精密電子設備生產中廣泛使用的一種方法。EC 102 2型系統涉及在基板上應用光敏材料。光致抗蝕劑是一種聚合物材料,通常是一種感光聚合物,它會與紫外線或其他輻射能(如光或熱)發生反應,從而形成可尋址的圖樣。然後使用此模式將模式直接轉移到新的基板上。然後將基材在高溫下加熱,以固化光敏材料並形成所需的圖樣。另外,利用氧基等離子體可以進一步增強模式形成的結果。一旦形成圖樣,基板就會再暴露在適當的光源(通常是UV)下,以使圖樣過度曝光,產生強烈的光靜止層。此層用作永久蓋,旨在保護底層組件。HEADWAY EC 102 Type 2光抗蝕劑單元被用於汽車、航空航天和消費電子等多個行業。對於集成電路生產,該工藝用於確保高度均勻覆蓋,減少塗層不均勻造成的缺陷。它還提高了工藝的魯棒性,使其對環境因素的抵抗力更強。該過程相對簡單,但產量高,可最大限度地減少產品浪費和最大限度地提高可用產量。由於曝光過程是可重復的,並提供一致的結果,使用相同的光刻膠技術可以應用於不同的IC工藝層,確保圖樣形成和固化在各層之間是均勻的。這些功能使EC 102 Type 2機器能夠提供當今先進電子產品所需的高分辨率和精確度。該工藝具有很高的可靠性,經常與光刻等其他工藝結合使用,以進一步提高產量和降低成本。總體而言,HEADWAY EC 102 Type 2光抗蝕劑工具是生產集成電路、平板顯示器和其他高精度電子元件的既定可靠方法。該資產提供高分辨率、低水平的可變性,並且可以應用於各種基材。這使得它成為要求一致和高質量結果的行業的理想選擇。
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