二手 HEADWAY EC 102 #114663 待售

HEADWAY EC 102是一種光刻膠系統，設計用於單層和背靠背雙層圖樣制作過程。它是一種低溫固化負性型光抗蝕劑，在金屬、介電和有機基板上具有優異的膜形成性能。EC 102特別適用於MEMS應用，在這種應用中，需要比光刻膠和金屬具有更高的幹燥蝕刻選擇性。其發展包括一個光學活性官能團，當暴露於紫外線光源時交聯形成聚合物網絡。該反應導致在高分辨率蝕刻過程中對高能離子轟擊的抵抗力增加。這種光致抗蝕劑系統提供了良好的均勻性和幹燥蝕刻選擇性在光可定義的有機層。其有機-無機混合網絡是為最小邊緣串珠而設計的，具有最小化的背面蝕刻效果，表面附著力極佳。當暴露於高激光輻照度時,該產品在單層圖樣的極低線寬變化中表現得近乎完美,從而實現了高分辨率的蝕刻效果。其低殘留性能最大限度地減少了使用高攻擊性清潔劑的需要，使其適合用於敏感電介質的薄層。HEADWAY EC 102可以由廣泛的正負開發者開發。從酚醛核殼納米顆粒到低溫聚合，提供了優異的加工性能，可用於多種圖樣應用。該產品還具有出色的塗層均勻性、一致性和表面平面化。EC 102非常適合光學收發器、液晶顯示器和需要非常精確的陣列和表面平面化的微流體芯片等應用。總體而言,HEADWAY EC 102光刻膠系統是一個高度通用且經濟高效的過程,可為各種MEMS應用創建大型特征尺寸、薄層和高度精確的結構。它被設計為與介電和有機基板的超熱層兼容，與各種正負顯影劑結合工作，並具有出色的幹蝕選擇性和均勻性。