二手 HEADWAY EC 102 #9123998 待售

HEADWAY EC 102是一種單塗層的負光抗蝕劑設備，旨在提高微光刻光學印刷應用中高縱橫比溝槽的產量。光致抗蝕劑系統由正光致抗蝕劑EC 102和一種正在發展的化學物質組成，它們共同提供增強的分辨率、低線緣粗糙度（LER）和改進的線寬控制。正光抗蝕劑HEADWAY EC 102由長鏈聚合物、光酸發生器和提供增強平面化的添加劑混合組成。與熱固化系統相比,長鏈聚合物結構具有更高的分辨率和更好的線緣粗糙度（LER）,而光酸發生器和添加劑的合並則通過提供更高的蝕刻選擇性比來增強平面化。對EC 102光敏裝置的化學性質進行了優化，以提供高蝕刻選擇性、長期穩定性和對多種基材的出色粘附。機器有低溫烘烤要求，意味著加工過程中不會受到高溫的影響。此外,光刻膠在背面灰泥和升空過程中可承受高達300 °C的溫度。HEADWAY EC 102光電抗蝕劑工具旨在為生產線提供高通路。它的低溫烘烤要求允許更快的基材整合和預塗層加工，縮短循環時間。此外,它與各種標準加工設備（如晶圓清潔器、幹燥器和曝光系統）的兼容性確保了低成本的高性能。此外,EC 102光刻材料具有很高的可靠性.它的特點是熱穩定性、水解穩定性和氧化穩定性高，使得它可以在廣泛的加工溫度和環境中使用。光刻膠模型也很容易使用；其強大的配方使其適合任何溫度、濕度和暴露條件。綜上所述，HEADWAY EC 102是一款單塗層、負片的光刻設備，旨在提供出色的分辨率、線緣粗糙度（LER）和線寬控制。其低溫烘烤、高蝕刻選擇性、長期穩定性和與多種標準加工設備的兼容性，使其成為微光刻光學印刷應用的理想選擇。