二手 HEADWAY LSC 510 #123052 待售

HEADWAY LSC 510是為原型開發和生產的光刻工藝而設計的商用光刻設備。該系統由交付單元和光刻單元兩個主要組件組成,並由三個激光掃描控制器（LSC）提供動力。送貨單元裝有激光二極管單元，為光刻過程提供能量。將所需的圖樣轉移到晶圓上開始於光掩模圖樣。聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）被塗在面膜的前表面，接著是一層鉻鉑或另一種金屬。然後將掩模置於基板上方，並暴露於激光二極管的紫外線輻射下。這引發了最初被光刻膠覆蓋的基板的變化，只暴露了激光二極管能夠到達的區域。光掩模圖樣向基板的轉移是通過光刻單元實現的。此單元包含三個組件-曝光級、掃描單元和光束發生器。曝光階段包含一個高精度的機動化x-y級，該級容納晶片，以及一個在曝光期間控制晶片角度的傾斜機。掃描工具將激光二極管沿定義的方向在光掩模上來回移動。光束發生器負責激光和激光二極管的強度。光刻單元由三個激光掃描控制器（LSC）控制，它們提供了成功光刻過程所需的位置精度和計算機控制。他們控制激光的高精度坐標，監測光掩模圖樣和定位激光二極管所需的精度。LSC 510是快速原型制作和批量生產的理想選擇。它的精確度和緊湊的設計使得它適合多種類型的環境和過程。它是光刻項目的可靠、經濟高效的解決方案，並提供精確的結果。