二手 HEADWAY PWM 32 #9153890 待售
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HEADWAY PWM 32光刻設備是集成電路光刻的先進工具。它設計用於制造半導體器件。該系統將變頻激光源與用於在基板上應用光刻材料的定制軟件相結合。HEADWAY PWM 32的變頻激光源在極其廣泛的操作參數上提供極高的功率和快速響應。這包括範圍廣泛的波長和功率水平,從0-8W@145mJ/cm2。激光源還具有近場效應抑制和快速脈沖序列編程的特點。專門設計的光學器件在整個基板上產生均勻的光束光斑尺寸,以及用於精確光束光斑放置的出色光束控制。該光學器件允許對不同類型電路的最佳寫入位置進行極其精確的定位。PWM 32還具有可用於控制激光源、光刻材料和基板的定制軟件。軟件為用戶提供了一個簡單直觀的界面。它允許完全控制激光功率和脈沖速率以及選擇和保存特定模式的能力。該軟件還可用於精確測量光刻膠厚度,並控制其應用。PWM 32的創新設計還提供了一個用於精確光刻膠應用控制的自校準單元。自校準機可以檢測參數的任何變化並進行相應調整,確保在基板上準確一致的光刻膠應用。總體而言,HEADWAY PWM 32光刻工具是集成電路光刻的先進、可靠且用途極為廣泛的工具。它即使在高靈敏度下也能提供極好的精度和控制,其自校準資產使其成為光刻膠應用的高度精確可靠的模型。
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