二手 HITACHI PR stripping system #293670389 待售

HITACHI PR剝離設備是使用HITACHI High-Technologies Corporation專有技術的光阻去除系統。該裝置設計用於各種半導體和薄膜器件晶圓廠工藝。該機還適合與介電層、光刻膠和其他有機殘留物一起使用。該工具可靠性高，可快速高效剝離光刻膠。它采用紅外（IR）光、紫外線和幹熱的組合。這三個組件的組合允許冷熱幹式剝離。該資產利用紅外技術，提供局部、受控的能量，並精確檢測光刻膠層。紫外線組件通過提供光刻膠的非接觸式化學活化和實現精密剝離，增強了蝕刻工藝。該加熱器可用於熱剝離光刻膠和介電層。該模型基於優化參數，提高了剝離質量，其特點是晶片對晶片的變化較小。它旨在最大限度地減少顆粒和缺陷的形成，同時實現高通量。設備包括內部和外部加熱元件振蕩的「三維」加熱能力，以確保熱量的均勻分布。這確保了一個統一的旁路速率。此外，為增加透光而在樣品上塗抹的特殊薄膜提高了紅外和紫外元件的檢測精度。系統配備了觸摸屏界面，允許用戶監視、更改和存儲流程參數。還具有溫度控制、壓力控制、層厚監測等功能。該單元可用於多種光刻去除工藝，包括光刻、石刻和幹刻。也適合與介電和有機殘留物一起使用。該機可靠性高，可提供快速、準確的剝離，不犧牲質量或吞吐量。