二手 HONGSU BOE #9328964 待售
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ID: 9328964
晶圓大小: 5"
Photoresist removal system, 5"
DI Water:
Average flow LPM: 90
Maximum pressure: 2.5 kg/cm²
Temperature: RT
Resistance Ω: >18
Caliber inch: 11/2"
Gases:
CDA:
Maximum pressure: 7 kg/cm²
Minimum flow: 400
Pipe: SUS316
Connector: SWAG
Caliber inch: 1/2"
N2:
Maximum pressure: 7 kg/cm²
Minimum flow: 200
Pipe: SUS316
Connector: SWAG
Caliber inch: 3/8"
Filter: 1um
H2SO4:
Maximum flow: 5
PFA Pipe
Flare connector
Caliber: 1/2"
H2O2:
Maximum flow: 5
PFA Pipe
Flare connector
Caliber: 1/2"
Acid exhaust:
Maximum pumping volume CFM: 450
PP Pipe
Flange connector
Caliber inch: 8"
Power supply: Single-phase, 220 V 3-wire, 210 A, 46.2 kVA.
HONGSU BOE是一種光刻設備,用於生產高精度微電子器件。該系統是一種內置防護塗層的自旋光刻材料,在自由形式的微電子環境中提供可靠性和穩定性。它專為滿足現代設備設計的要求而設計。光敏材料被旋塗在微電子器件的基板上。然後,敏感材料暴露在紫外線下,有選擇地改變暴露材料的性質。一旦創建了所需的圖案,多余的、未修飾的光刻膠就會被移除。這可以通過等離子體蝕刻、濕化學蝕刻或激光加工來完成。京東方是一個完全開發的單元,可以針對光刻膠工藝的各個方面進行定制,包括但不限於利用幹膜和/或濕膜技術開發、蝕刻和最後固化的工藝步驟。由此產生的裝置能抵抗濕氣和環境汙染,從而導致光致抗蝕劑裝置的降解。這是紅蘇京東方機器上存在的保護塗層的結果。京東方工具比其他系統更具優勢,特別是因為它可以提供更大的穩定性和可靠性。光敏材料的設計是為了在制造過程中保持穩定並保持其完整性,從而減少缺陷,提高設備的可靠性。此外,由於其對齊的感光層和聚焦光源,資產在光刻過程中實現了高度的精度。這樣可以確保設備每次都能提供一致的結果。最後,HONGSU BOE模型采用了先進的工具和技術,確保了生產的微電子器件質量最高。旋轉晶片級、真空設備、監視器等設備均根據光刻系統的要求進行調諧,使光刻工藝的性能高效準確。這允許為任何給定的應用程序定制可靠的過程,並有助於簡化制造過程。總之,京東方是一個全面的光阻單元,提供可靠和一致的結果。它專為微電子器件而設計,具有精密驅動機器和保護塗層。該工具還提供高水平的穩定性和準確性,易於使用和維護。總體而言,HONGSU BOE是復雜、高精度設備設計的理想光刻資產。
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