二手 HONGSU BOE #9328982 待售
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ID: 9328982
晶圓大小: 5"
Photoresist removal system, 5"
DI Water
N2
CDA
H2SO4
H2O2
Acid exhaust
Power supply: Single phase, 220 V, 3-wire, 210 A, 46.2 kVA.
HONGSU BOE是一種在表面上制造聚合物薄膜塗層的光刻設備。這種光致抗蝕劑系統使用光感應劑和聚合物粘合劑的混合物。聚合物粘合劑的目的是使光致抗蝕劑具有物理性質。光引發劑的目的是在暴露於紫外光下,方便粘合劑的自由基聚合。光致抗蝕劑單元用於創建圖樣、蝕刻電子元件以及在基板上形成金屬化。京東方提供多種具有溶解度、粘度、抗特定化學蝕刻材料能力等多種性質的光刻膠。這種光刻膠是液體光刻膠系統的幹膜替代品。在基板上塗抹光刻膠時,將HONGSU BOE膜塗抹在薄膜中。薄膜可以使用旋轉塗層、鑄造、浸漬或噴塗。一旦光敏塗層到位,基板就會使用光刻打印機暴露在紫外線輻射下。光分子在紫外線照射時破裂,導致自由基在光致抗蝕劑上形成。這引發了一系列反應,導致光致抗蝕劑聚合成粘附在底物上的相幹質量。裸露的區域在發育時變硬並形成浮雕模式。經過顯影後,光敏材料被去除,浮雕圖樣留在基板上。浮雕圖案是所需的圖案,用作蝕刻蒙版。蝕刻面罩描述了從基板上蝕刻出來的區域,例如電子元件的重要圖案。經過蝕刻過程後,光致抗蝕劑的殘留物被去除,以暴露底物的有機或無機材料。總之,BOE是一種用於在基板上創建圖樣的光刻機。該工具要求在基板上應用薄膜光刻膠,暴露於紫外線輻射,開發光刻膠浮雕圖樣。這種光致抗蝕劑資產在電子、金屬化、圖樣化等領域因其高效有效的成果而廣受歡迎。
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