二手 HONJIG HJ-W003D #9292547 待售
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HONJIG HJ-W003D是一種用於半導體基板上堿洗和幹蝕刻工藝的光刻設備。它由光引發劑(PI)和光致抗蝕劑(PR)兩個組分組成。PI用於引發光敏反應,而PR在加工過程中充當保護性塗層。HJ-W003D系統是為溫度控制的過程設計的,範圍從-40到+150°C,具有極好的均勻性。它是專門為高厚度均勻性的快速固化而配制的,可加工至300 nm,從而實現高密度圖樣。它能夠從特征孔中去除PR,並實現無阻抗的幹蝕刻。HONJIG HJ-W003D光敏裝置由於其化學成分和專門設計的工藝而具有很高的可靠性和魯棒性。它可以用於包括矽、移植物、砷化氙、砷化鋁和有機基板在內的多種半導體基板上進行圖樣、拋光、金屬化。該機還具有對廣譜、UV-A和發光二極管(LED)的出色靈敏度,適用於薄膜應用。此外,HJ-W003D由於具有較高的圖樣解析能力,能夠實現卓越的圖像處理能力。它還允許精確的模式形成和優秀的粘結強度。它還可以配合先進的MEMS和納米尺度特性。此外,HONJIG HJ-W003D符合RoHS、REACH、Green Building Initiative (GBI)和最高環境績效指數(EPI)等多種行業標準和法規。它與多種化學品和材料具有極好的兼容性;並提供較高的殘留率線分辨率。其結構允許在金屬和有機膜上進行無沖擊塗層。總的來說,HJ-W003D光刻工具是一個先進的解決方案,使精確的圖樣和線條分辨率.該資產高度可靠、堅固、符合行業標準,能夠與各種化學和材料類型兼容。
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