二手 IVI Box Coater #9008297 待售

IVI Box Coater是一種光刻系統，旨在提供一種有效的方式來塗覆矽、石英、玻璃和金屬等多種基板。適用於手動和自動塗層操作。該系統由塗層和控制單元兩個主要組件組成。塗層由一個厚壁不銹鋼室制成，該室包含必要的光刻膠應用組件，如氣體密封的加工窗口。控制單元是帶有按鈕的觸摸屏監視器，用於控制反應壓力、反應溫度、速度和快門等各種過程。光致抗蝕劑通過氣體密封供應裝置引入加工室。Box Coater使用低壓化學氣相沈積（LPCVD）工藝將膜沈積到給定基板上。有機光致抗蝕劑材料在通過光源暴露於輻射時分解，光源選擇性反應在基板表面形成薄膜。過程通過控制單元屏幕進行監控，其中反應壓力、反應溫度、速度、快門等參數都可以精確調節和監控。借助計算機輔助設計（CAD）軟件，可以精確地設計光刻膠圖案。也可以配置曝光時間和模式分辨率等參數。為確保操作員的安全，在塗層上安裝了安全防護裝置。它具有自動安全系統和蓋子互鎖開關，以防止未經授權使用設備。IVI Box Coater是光子學、半導體和微電子學等多個行業實驗室應用的絕佳工具。它可以快速、方便地用於各種基板的高效、可靠的塗層。其先進的特點使其成為高效、準確的薄膜沈積的理想選擇。