二手 IZOVAC Aurora G5 #9395190 待售
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ID: 9395190
Single side metal coater
Type: Vertical
Coating method: Sputter
Substrate: GaAs Wafer, (80) Substrates / Carriage
(2) Carriages
Membrane: (6) Metal layers
Tact time: 336 sec
Carrier moving speed: 0.245 m/min
Cathode distance: ≥1000 mm
Coating thickness: 120 mm ≤±5%
Auto loading / Unloading (Portal type robot, TBD)
Substrate uncoated area: <2 mm
RGA PC, protection valve, ports
Substrate size: Square with rounded edges
Maximum: 108.5 mm x 108.5±0.5 mm
Minimum: 106 mm x 106 mm
Corner radius: 4.5±0.5 mm
Edge exclusion: 2 mm around
Thickness range: 0.55 mm - 0.65 mm
Substrate coating area: 102 mm x 102 mm
Acceptable temperature: ≤250°C
Etching:
Ion beam source (Linear)
Remove 10 A - 50 A ≤±5% across each pallet
Magnetrons:
DC Planar magnetrons (MSS)
(11) DC Rotary magnetrons (CMSS)
Pumps:
Dry mechanical pumps
Turbo molecular pumps
Cryogenic pumps.
IZOVAC Aurora G5是一種最先進的光刻設備，設計用於在各種微觀應用中提供可靠、精確的結果。光致抗蝕劑系統用於在各種表面上創建高度精確的微觀結構,包括玻璃、矽和其他材料。改進後的Aurora G5系統設計允許比標準光刻系統更高的精度。該單元能夠產生具有尖角的特征，所產生的特征的角度可以精確控制到弧度的幾分鐘之內。IZOVAC Aurora G5的特性尺寸範圍可以從一微米調整到40微米。憑借其先進的軟件包，它可以產生形狀復雜的圖案，比如圓、螺旋和星星，即使在三個維度上也是如此。Aurora G5機器高度自動化,允許高效、無人值守的生產。預編程工具產生高度詳細和可重復的圖樣，防眩光保護和光束監視器校準等特性確保光掩模保持穩定，傳遞的光如預期。G5資產還有一個改進的紫外線源，既明亮又精確。這樣可以更快、更精確地曝光光刻膠，從而能夠以傳統光刻膠系統無法實現的方式創建微米級圖樣。紫外線暴露源可以調整以產生更加均勻的覆蓋範圍，從而能夠形成更加復雜的特征。IZOVAC Aurora G5還配備了先進的成像模型。這樣可以快速檢查和評估光刻膠所產生的特性。總體而言，Aurora G5光刻設備針對速度和精度進行了優化，高度自動化和用戶友好。它為各種微觀應用提供了精確、可重復的結果,並且是創建尖角和高特征密度的復雜圖案的可靠工具。
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