二手 JAS JAS-591TM #9360825 待售

JAS JAS-591TM Photoresist Equipment是一種專為開發和表征用於晶片級制造工業生產的光刻材料而設計的專用儀器。該系統以高速機械臂單元為中心，可以將各種光刻材料精確應用到基片表面上。這個手臂設置有一個高度精確的舞臺裝配和一個微定位平臺，可以在所有三個維度上進行控制和調整。除了機械臂之外，JAS-591TM還包括許多其他組件，包括光束發生器、高強度激光器、電極和真空源。光束發生器與激光和電極協同工作，蝕刻出基片上預定的圖樣。激光強度可調，可精確控制光刻膠的發展。同時，利用真空源在光阻顯影過程中為室內提供恒定的低壓環境。該機還配備了多種診斷和顯示儀器，包括溫度監視器、示波器、加熱器以及其他各種傳感器。溫度監測器可確保光敏材料在顯影過程中保持最佳粘度,而示波器可測量和顯示在基片晶片上創建的光敏圖樣的圖像。同時,加熱器在整個光致抗蝕劑顯影過程中使腔室保持均勻溫度.最後，該工具利用數字接口，對光刻膠的開發過程進行簡單和復雜的控制。此界面允許用戶選擇激光功率、圖案大小和層厚度等各種參數。這些參數可以單獨調整，以便以極高的精度和控制創造出錯綜復雜的光刻膠圖案。簡而言之，JAS JAS-591TM光刻資產是晶圓級制造材料工業生產的寶貴工具。該模型結合了高精度機械臂、可調激光器和數字接口，確保了光刻膠圖樣的高精度和精確度。這些組件加在一起，使其成為創建集成電路和其他微制造過程中極為通用和有效的工具。