二手 JEOL 5000 #9281572 待售

JEOL 5000是一種用於制造半導體集成電路的光敏設備。它是一種高分辨率、高精度的無掩碼光刻系統，用於將圖樣蝕刻成各種光刻材料的薄膜，如聚甲基丙烯酸甲酯、二氧化矽、多晶矽。該單元可用於創建多種不同的晶圓尺寸，直徑從200毫米到450毫米不等。5000光刻機的主要用途是將圖樣蝕刻成半導體薄膜。為此，該工具利用計算機軟件調制的聚焦光束將預先編程的圖樣繪制到光刻材料上。為了確保模式的準確性和可靠性，該機器配備了一個11軸電動級，可以精確控制梁的軌跡和位置。兩個獨立操作的物鏡可用於分辨率增強。資產配備了多種照明圖樣和計算工具，包括先進的分色算法，以確保在蝕刻過程中準確打印所需的圖樣。JEOL 5000還具有金屬或磁性薄膜圖樣的特定功能，配有對準和檢查功能。它還能夠控制多層模式和特征。5000還作為微電子器件結構的高精度光刻工具。它配備了掩模對準模型和掩模加載設備，使模式傳輸能夠在幾秒鐘內完成。該系統還能夠處理從80°C到450°C的各種基材溫度,並具有強大的烘烤程序,以確保從低到高的精確溫度。JEOL 5000是一種高效、可靠、高精度的半導體集成電路制造光敏裝置。它的微處理和對準能力，加上其電動級，使機器能夠提供精確和可靠的結果。它用於制造各種集成電路元件，從存儲器到處理器，可用於生產多種不同尺寸和封裝格式。