二手 JEOL JFC-1600 #293621202 待售

JEOL JFC-1600是設計用於半導體生產的先進光刻設備。它是半導體芯片成型精密元件和特點的關鍵部分。這種光致抗蝕劑系統具有一個曝光源，它提供高度準直的光，使晶片表面具有特定的圖樣。此光源可精確配置,以確保精確的光照量,從而獲得一致的圖樣精度。曝光源由一個電動晶片級作為後盾，可進行多次晶片曝光，並具有精確的放置和準確的曝光時間。該曝光單元使用具有可調光斑尺寸的高級可變對焦鏡頭和高級可變對焦元件，用於對焦、色差和失真的精確控制。機器可以處理直徑達8英寸的半導體晶片，曝光部位之間的間距可調。曝光部位尺寸可調，範圍從500微米到70微米。曝光源最多可以有四條可調節的曝光源線，允許多步曝光。為了高效操作和理解,該工具包括曝光設置和操作的視覺效果,並在內部液晶顯示屏上突出顯示。這允許有效的參數調整、管理和監控。該資產還受到IP保護,可以連接到本地以太網環境以進行遠程監視和管理。為了安全起見，該型號包括安全衛士和在設備使用時啟動的護罩。該系統配備了自動曝光中斷，以防止晶圓表面過度曝光。最後，該機組包括一臺專用的潔凈室空調機，以減少晶圓表面的汙染。這種光致抗蝕劑工具的高性能和高效率使其成為幾乎所有半導體生產應用的完美工具。對於希望生產高精度半導體芯片的人來說，這是一個經濟高效且可靠的選擇。