二手 JEOL JFC-1600 #293818828 待售

JEOL JFC-1600是為高質量光刻和圖樣應用而設計的光刻設備。它是一個全自動的全尺寸系統,能夠實現40 nm分辨率的陣列。該單元適用於單、多掩模曝光，采用高度先進的JEOL獨占TTL（透射+反射）對齊方法。它配備了圖像層反演技術，能夠在同一基板上精確對齊有圖案的層。JEOL JFC 1600能夠處理直徑達200毫米的器件基板，在全尺寸圖樣下比傳統光刻系統快得多。該機采用了一種先進的光學柱，提供了高達40納米（nm）的高分辨率，均勻平均伽馬為0.85，使其非常適合單次和多次蒙版曝光，以及多次模式對準。它還提供高達12.735°的掃描角度和高達31.5°/秒的掃描速度。此外，JFC-1600還配備了一種獨特的旋轉多層次陣列工具，能夠實現更大範圍的陣列多樣性和準確性。JFC 1600光刻膠資產采用可靠、易於使用的模型控制軟件，可實現快速設置和方便操作。它還包括一個組件和材料庫,這些組件和材料可容納能夠滿足要求最高的任務要求的各種基板。該設備具有高精度、高速的自動對準功能,非常適合復雜的光刻任務。軟件能夠自動補償掩碼模式的任何不對齊,從而使用戶能夠以更高的精度快速準確地生成模式。最後,JEOL JFC-1600得到JEOL世界級客戶服務和技術支持服務的支持,有助於充分利用系統的多功能性和性能。JEOL JFC 1600光刻單元具有出色的性能和強大的性能,是那些需要最高質量光刻和圖案化解決方案的用戶的理想解決方案。