二手 JEOL JFC-1600 #9261178 待售

JEOL JFC-1600是一種光阻設備，設計用於利用光和紫外線輻射的組合在基板上產生精細結構。這種裝置使用高精度的遮罩對準器，能夠將預先圖案化和預先曝光的光刻膠遮罩精確定位到基板上。掩模對準器的級分辨率為200亞微米，允許高精度的平版印刷圖案。JEOL JFC 1600利用i-line紫外線進行曝光。這種光被用來暴露敏感的底物層，引發與光刻膠的化學反應，形成持久的圖樣。為了控制暴露的基板層的曝光能量和光學輪廓，光的強度是可調的。除了光照外，JFC-1600還提供蝕刻工藝。蝕刻過程在受控環境中使用等離子體在基板上生成所需的圖樣。等離子體蝕刻工藝確保表面清潔，精度高，消除了光刻膠膜中殘留的任何殘留物。JFC 1600利用軌道放置系統快速準確地將所需的圖樣定位到基板上。該單元簡化了平版印刷圖樣制作過程，確保了暴露的基板被精確地放置和對齊。最後，JEOL JFC-1600還提供了一個加熱機器，使高溫基板鍵合。這一過程對於確保所需的圖樣牢固地附著在基板層是非常重要的。高溫粘合過程還可以改善圖樣對基板表面的粘附。JEOL JFC 1600是一種高效、精確的光電抗蝕劑工具，可精確控制制圖過程。該裝置能夠在嚴格的公差範圍內生成精細的平版印刷圖案，確保所需的圖案牢固地附著在基板上。